作为半导体行业的关键部件，晶圆要求半导体加工过程中各加工站之间的快速、准确的传送。不能出半点闪失。

目前的科技水平已经可以生产出纳米级厚度的晶圆。如此昂贵、精密且脆弱的晶圆在传送过程中需要人工操作。它很容易被损坏，并且在此过程中其表面会被污染。因此，真空机器人——真空晶圆输送机械臂已成为晶圆生产的核心设备之一。其性能直接影响晶圆的生产效率和制造质量，体现了整个加工系统的自动化程度和可靠性。

为了满足真空晶圆运输设备的清洁度和稳定性要求，我司的推出了唇形真空密封件与精密减速机RV™紧凑融合而成的齿轮头单元，HR系列的减速机齿轮头，该系列产品因采用不会破裂的接触式唇形密封件，结构紧凑，且安装、使用方便，可有效缩短FPD搬运用机器人、晶圆搬运装置的组装时间，且有相当高的安全性。

晶圆搬运机器人

该系列产品因采用不会破裂的接触式唇形密封件，结构紧凑，且安装、使用方便，可有效缩短FPD搬运用机器人、晶圆搬运装置的组装时间，且有相当高的安全性。

内部搭载的精密减速机RV™产品在精密减速机领域中已有30年以上的实绩，被广泛应用在世界范围内的制造业设备中。作为工业机器人关节部位的核心零部件，有着高精度、高刚性同时兼备小型、轻量的特点，在实现精密动作的同时，为设备提供强大的承载能力。根据不同的安装需求可替换组件品单元RV™系列/附带对应多个公司伺服电机安装零件的RD2系列作为内部减速机的型号。